所謂的微焦點X射線檢測是焦點尺寸可以達到幾個微米，并且能夠在0～225kV或更高恒電壓模式下，以一定的功率（通常zui高為320W）連續(xù)工作的X射線機。微焦點X射線檢測機的焦點尺寸通常可以連續(xù)可調，從幾微米直到0.2毫米或更高。
　　
　　微焦點X射線檢測機的主要技術參數：
　　
　　-管電壓范圍：微焦點X射線管的高壓工作范圍。
　　
　　-zui大管電流：從陰極到陽極的zui大電流。
　　
　　-zui大功率：微焦點X射線管的zui大功率。
　　
　　-電子束聚焦能力（焦點）：在給定功率下的焦點尺寸，如：3µm@5W；0.2mm@320W。焦點一般連續(xù)可調。
　　
　　-細節(jié)分辨能力：通常*的zui小的細節(jié)分辨能力為焦點尺寸的一半。
　　
　　-錐束角：在給定窗口直徑下的X射線放射角。如：孔徑2mm時，25°。
　　
　　-錐束角內射線均勻度：射線視場強度的均勻性，以百分比表示。
　　
　　-X射線劑量率穩(wěn)定性：X射線劑量隨時間的變化性，以百分比/小時表示。
　　
　　-zui小焦距：通常用焦點到X射線管窗口外表面的距離來表示。
　　
　　-靶材料：通常有鎢，鉬，銅以及其它材料。
　　
　　-zui小高壓穩(wěn)定時間：系統(tǒng)在zui大電壓和zui大功率模式下，從開機到穩(wěn)定運行所需的時間。
　　
　　-其它參數：重量，尺寸，電源，及溫度濕度要求等。